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Conference Introduction

会议简介

随着5G时代的到来，产业界对高频、高温、高功率、高能效、耐恶劣环境及小型化功率半导体器件需求急剧增加。同时，随着基站通道数倍数增加和通信无线电波频率提升， MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)是相关产品的关键技术之一。第十二届中国国际纳米技术产业博览会于2021年10月27日-10月29日在江苏苏州举办，其中《化合物半导体与压电薄膜器件关键技术与工艺论坛》由中科院人事局和江苏省纳米技术产业创新中心主办，中科院苏州纳米所承办, 研讨会邀请高校研究所及其企业著名纳米技术人才专家传授相关专业知识，特别针对化合物半导体电力电子器件和氮化铝MEMS器件的加工、测试、分析技术进行深入浅出的理论培训和技术研讨。本次研讨会为公益培训，旨在为相关行业技术人才提供一个学习交流机会。

Conference Organizers

会议组织

主办单位

    • 中国科学院人事局
    • 江苏省纳米技术产业创新中心

承办单位

  • 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 
  • 苏州纳米科技发展有限公司

Main Topics

主要议题

本次会议的讨论主题范围包含但不限于：

Agenda Arrangement（Previously Review）

2021议程安排



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日期： 10 月 27 日

地点： A209-210

时间

主持人

演讲人

职位/机构及演讲主题

13:30-13:40

致辞

13:40-14:20

张宝顺

张进成

校长助理 西安电子科技大学
新型宽禁带半导体电子器件研究进展

14:20-15:00

张宝顺

龙世兵

教授 中国科学技术大学
超宽禁带氧化镓半导体功率电子器件

15:00-15:30

茶歇

15:30-16:10

张宝顺

骆军委

研究员 中国科学院半导体研究所
半导体超级激光退火物理

16:10-16:50

张宝顺

王金延

教授 北京大学
面向新一代高频/高压开关电源的半导体器件关键问题

16:50-17:30

张宝顺

彭长四

教授 苏州大学
激光图形化诱导纳米结构阵列外延/光刻同步解决方案



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日期：10月28日

地点： A202-203

时间

主持人

演讲人

职位/机构及演讲主题 

9:00-9:50

曾中明

皮孝东

教授 浙江大学
半导体碳化硅单晶制备和晶圆加工

9:50-10:20

茶歇

10:20-11:10

曾中明

周利民

资深战略营销总监 MRSI SYSTEMS, MYCRONIC GROUP
5G化合物半导体器件芯片封装关键技术

11:10-12:00

曾中明

胡翀

联席CEO/重庆凌越光电科技有限公司
边发射激光芯片关键技术及应用发展趋势

12:00-13:30

午餐

13:30-14:15

吴东岷

陈贵峰

教授 河北工业大学
高效、绿色 AlN 单晶薄膜制备技术的研究

14:15-15:00

吴东岷

谢金

教授 浙江大学
氮化铝压电微机械超声换能器（PMUT）设计与应用

15:00-15:30

茶歇

15:30-16:15

吴东岷

孙博文

首席技术总监 武汉敏声新技术有限公司
无线通信MEMS滤波器发展与趋势

16:15-17:00

吴东岷

李加东

研究员 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
用于测距的压电微机械超声波换能器

17:00-17:30

曾春红

17:30-20:00

邀请晚宴



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日期：10月29日

地点：纳米加工平台

时间

主持人

演讲人

职位/机构及演讲主题 

9:00-11:50

曾春红

张宝顺

研究员 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
参观纳米加工平台及技术交流


Speakers

2021演讲嘉宾


2021演讲嘉宾
陈贵峰 （河北工业大学 教授（博导））
高效、绿色 AlN 单晶薄膜制备技术的研究
河北工业大学材料科学与工程学院工作，材料物理系主任，河北省光电功能晶体材料工程实验室主任。长期从事半导体材料与器件相关研究工作，目前主要研究方向包括：1）III-V族氮化物材料自支撑衬底的绿色工业化制备方法；2）氮化镓基光电化学器件在人工光合作用中的应用研究；3）纳米量子点太阳电池的研究；4）集成电路用单晶硅材料的制备及性能研究。
2021演讲嘉宾
胡翀 （重庆凌越光电科技有限公司 联席CEO）
边发射激光芯片关键技术及应用发展趋势
胡翀博士，清华大学电子工程学士和美国弗吉尼亚大学电机工程博士，凌越光电联合创始人，十数年光电产业经验。曾就职于新飞通光电（NeoPhotonics），长期负责可调谐激光器等产品，在光通信前沿科技领域有着丰富的产品经验。在国科嘉和创业投资基金期间担任投资总监，专注于光电子、半导体、智能制造等硬科技方向。2020年与国内外顶尖团队联合创立凌越光电，任联席CEO，致力于高端化合物半导体光芯片的研发与制造。
2021演讲嘉宾
龙世兵 （中国科学技术大学 教授（杰青））
超宽禁带氧化镓半导体功率电子器件
龙世兵，从事超宽禁带半导体器件、存储器等领域的研究。IEEE高级会员，中国电子学会青年科学家俱乐部会员，第三代半导体青年创新促进委员会会员，全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻工作组委员，IEEE EDL/TED等多种国际著名学术期刊的审稿人。在IEEE EDL等国际学术期刊和会议上发表论文100余篇，SCI他引4000余次，H因子35，5篇论文入选ESI高引论文（累计引用居前1%的论文）。获得/申请专利100余项，其中9项转移给国内最大的集成电路制造企业中芯国际，74项授权/受理发明专利许可给武汉新芯。主持国家自然科学基金、科技部（863、973、重大专项、重点研发计划）、中科院等资助科研项目18项。2019年获得国家杰出青年科学基金项目资助，2017年获得中科院创新交叉团队项目资助。获得2013年国家技术发明奖二等奖（第6完成人）、2016年国家自然科学二等奖（第4完成人）、2018年中国科学院杰出科技成就奖（第3完成人）。
2021演讲嘉宾
骆军委 （中国科学院半导体研究所 研究员（杰青））
半导体超级激光退火物理
骆军委，中国科学院半导体研究所研究员，半导体超晶格国家重点实验室副主任。2006年在中科院半导体所获的博士学位后，在美国可再生能源国家实验室先后担任博士后、Scientist、Senior Scientist。2014年回到中科院半导体所工作，2019年获得国家杰出青年基金资助。长期从事半导体物理与器件物理研究，聚焦在解决硅基发光和硅基量子计算关键瓶颈，包括发展了半导体直接带隙和间接带隙形成机制的统一理论，解决了硅形成间接带隙不发光的困惑，理论上证明了广泛研究的硅量子点无法实现高效发光，排除了硅量子点硅基发光方案，并提出掺杂应变锗直接带隙发光的硅基发光原创方案，提出了硅等中心对称晶体中存在隐藏自旋极化的理论，发现硅一维量子线和二维量子阱的空穴存在新型线性Rashba效应，推翻了公认的三次方Rashba效应等。已发表论文80余篇，其中以第一或通讯作者发表在《自然·物理》、《自然·纳米》和《自然·通讯》各1篇和6篇PRL等。
2021演讲嘉宾
皮孝东 （浙江大学 教授）
半导体碳化硅单晶制备和晶圆加工
浙江大学硅材料国家重点实验室和浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院双聘教授，博士生导师。2004年在英国巴斯大学获得博士学位，并受颁新颖研究奖章。随后在加拿大麦克马斯特大学和美国明尼苏达大学双城分校从事研究工作。于2008年到浙江大学工作，在2012年由副教授晋升为教授。是中国真空学会理事和中国真空学会电子材料与器件专业委员会副主任委员（2019-2024）、美国物理联合会学术期刊Applied Physics Letters的编辑顾问委员会成员（2017-2022）、英国物理学会学术期刊Nanotechnology的顾问委员会成员（2019-2021）、《半导体学报》青年编委（2021-2023）、国家重点研发计划“光电子与微电子器件及集成”项目顾问专家（2019-2023）、IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM)材料分会共主席（2021）。 主要从事硅和碳化硅材料和器件研究。曾在Physical Review Letters、Advanced Materials、Materials Science & Engineering R: Reports、ACS Nano、Nano Letters、Nano Energy和IEDM等学术期刊和会议上发表了系列研究论文。
2021演讲嘉宾
孙博文 （武汉敏声新技术有限公司 首席技术总监）
无线通信MEMS滤波器发展与趋势
孙博文先生是芯片领域设计与制程专家，新加坡高级技术与管理人才。2002年至2006年在英国利物浦约翰摩尔斯大学攻读微电子工程学士学位， 2011年至2015年在新加坡国立大学攻读电子与计算机工程博士学位，博士期间研究专攻多种MEMS设计和工艺，特别是压电系、静电系微机电系统。曾任新加坡台达电子（中国中达电通）有限公司研究中心实验室主任，新加坡台达电子研究院副院长、台达电子-新加坡南洋理工大学企业联合实验室副所长；原新加坡微电子研究院科学家及高级工程师；伟创力制造有限公司电气和测试工程师。孙博士致力于AlN和Si的MEMS器件设计、制造。尤其具有创建RF-MEMS的知识，基于有限元模型或基于集总模型的多物理场仿真，在微细加工，后端封装和表征设备方面具有多年的专业技能，拥有15年的射频MEMS研究、产品开发、及管理经验。在领域内和国内外多为顶尖研究者合作，拥有超过50篇学术发表，10余项专利，超过500次学术国际引用。现任敏声新技术首席技术官兼副总经理，以创新型策略制定出敏声独有的射频产品和工艺技术路线，并带领团队实践及推动射频产品的商业化。
2021演讲嘉宾
王金延 （北京大学微纳电子学系 教授）
面向新一代高频/高压开关电源的半导体器件关键问题
博士毕业于北京大学，从事半导体器件特性表征和可靠性物理及应用研究，于2000年－2001年在新加坡国立大学进行学术访问，并于2002年从北京大学博士后站出站，同年留校工作。长期从事半导体器件物理、结构设计、工艺和器件可靠性等方面的研究工作，也一直承担半导体器件物理方面的教学工作。作为项目负责人，承担 “973”预研项目、国家电子预研项目、国家自然科学基金、教育部博士点基金等科研项目。作为核心成员参加了国家核高基项目、国家重点基础研究发展规划(973项目)子课题。发表学术论文国内外期刊50多篇，并与他人合译/参与教材两部。
2021演讲嘉宾
谢金 （浙江大学 教授（博导））
氮化铝压电微机械超声换能器（PMUT）设计与应用
谢金，浙江大学机械工程学院，教授。2000年于清华大学获本科学位，2003年于浙江大学获硕士学位，2008年于新加坡南洋理工大学获博士学位。2007年9月至2011年5月在新加坡科技研究局（A*STAR）微电子研究所担任研究员，2011年6月至2012年7月在美国加州大学伯克利分校担任博士后研究员。从2012年10月起担任浙江大学机械工程学院教授，博士生导师，目前担任机械工程学院微纳技术与精密工程研究所副所长。在MEMS领域发表SCI论文90余篇和国际会议论文70余篇，授权发明专利6项，撰写著作章节1章。主要研究方向为微机电系统(MEMS) 、传感器和驱动器、微纳制造等。担任中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国机械工程学会微纳制造技术分会委员，在国际会议IEEE NEMS 2015, 2018, 2020 和 Transducers 2021中担任技术委员会成员。
2021演讲嘉宾
张进成 （西安电子科技大学 校长助理）
新型宽禁带半导体电子器件研究进展
西安电子科技大学校长助理，博士生导师，二级教授，入选教育部长江学者特聘教授、国家万人计划领军人才、科技部中青年科技创新领军人才、国家杰出青年基金获得者等。兼任科技部新型显示与战略电子材料专家组成员， 中国航天科技集团公司元器件应用专业组专家。长期从事宽禁带半导体材料与器件研究，曾担任ICNS、DRIP等国际学术会议电子器件分会主席，发表高水平学术论文400余篇，出版专著3部，授权发明专利100余项，成果8次被国际著名杂志Semiconductor Today专题报道，在国内外学术会议做特邀报告50余次，研究成果获得国家技术发明二等奖2项，省部级科技一等奖6项。
2021演讲嘉宾
周利民 （MRSI SYSTEMS, Mycronic Group 资深战略营销总监）
5G化合物半导体器件芯片封装关键技术
周利民 博士，Mycronic集团MRSI系统战略营销高级总监。在加入公司之前，他曾担任新飞通中国的高级研发总监、奥兰若亚洲新产品导入和产品工程总监、JDSU和SAMN-SCI中国新产品导入运营总监。他曾在中科院苏州医工所任研究员从事大功率激光器芯片的研发与产业化。他的职业生涯始于新加坡特许半导体公司（格芯半导体）担任光刻高级工艺工程师。周博士在哈工大获得学士学位，西安交大获得硕士与博士学位，也曾在上海交大从事博士后研究工作。
2021演讲嘉宾
李加东 （中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 研究员）
用于测距的压电微机械超声波换能器
博士，研究员，博士生导师，仿生自适应智能系统（BATs）团队负责人，中科院青年创新促进会会员。
2004年从中国石油大学(华东)毕业，获机械设计制造及自动化工学学士学位，同年进入中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室攻读博士学位(硕博连读)，于2009年获得博士学位，毕业后加入中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，主要致力开展微型仿生智能无人机及MEMS智能芯片的基础性、前沿性、探索性技术研究，以及探索微型无人系统及MEMS智能芯片在相关领域的应用研究。近五年，作为项目负责人主持了包含中科院重大联合基金，创新特区项目，国家自然基金及横向课题在内的20余项课题研究，并在Adv. Mater.，biosensor, APL, IEEE EDL，Analyst等知名期刊发表论文30余篇，申请专利20项，获授权专利9项。
2021演讲嘉宾
张宝顺 （中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 研究员）
欢迎致辞与主持嘉宾
张宝顺，纳米加工平台主任，研究员，博士生导师，国务院政府特殊津贴获得者。长期从事宽禁带半导体材料生长和器件研究，主持和参与国家级项目30余项，发表SCI论文60余篇，获中国授权发明专利47项，美国授权发明专利1项。
2021演讲嘉宾
曾中明 （中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 研究员）
主持嘉宾
2021演讲嘉宾
吴东岷 （中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 研究员）
主持嘉宾
吴东岷，研究员，上海科技大学特聘教授。博士毕业于美国加州大学洛杉矶分校机械与航空工程系。主要研究兴趣包括微电子机械系统（MEMS）、激光雷达、纳米光学、生物成像等。发表学术论文64篇，授权发明专利6项。
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